ตัวอย่างเช่น เมื่อมีอนุภาคมลพิษต่ำกว่าไมครอนบนพื้นผิวของชิ้นงาน อนุภาคเหล่านี้มักจะเกาะติดแน่นมาก วิธีการทำความสะอาดทั่วไปไม่สามารถลบออกได้ อย่างไรก็ตาม การทำความสะอาดพื้นผิวของชิ้นงานด้วยรังสีนาโนเลเซอร์นั้นมีประสิทธิภาพมาก นอกจากนี้ เนื่องจากเลเซอร์ทำความสะอาดชิ้นงานโดยไม่ต้องสัมผัส จึงปลอดภัยมากที่จะทำความสะอาดชิ้นงานที่มีความแม่นยำหรือชิ้นส่วนที่ละเอียด และมั่นใจได้ถึงความแม่นยำ ดังนั้น การทำความสะอาดด้วยเลเซอร์จึงมีข้อดีเฉพาะในอุตสาหกรรมการทำความสะอาด
ทำไมเลเซอร์ถึงใช้ทำความสะอาดได้? ทำไมไม่สร้างความเสียหายให้กับวัตถุที่กำลังทำความสะอาด? ขั้นแรกให้เข้าใจธรรมชาติของเลเซอร์ พูดง่ายๆ ก็คือ เลเซอร์ไม่ต่างจากแสงเงา (แสงที่มองเห็นได้และแสงที่มองไม่เห็น) รอบตัวเรา ยกเว้นว่าเลเซอร์ใช้ช่องเรโซแนนท์เพื่อรวบรวมแสงไปในทิศทางเดียวกัน และมีความยาวคลื่นที่ง่ายกว่า การประสานกัน เป็นต้น ประสิทธิภาพจะดีกว่า ดังนั้นตามทฤษฎีแล้ว ความยาวคลื่นของแสงทั้งหมดสามารถใช้เพื่อสร้างเลเซอร์ได้ แต่จริงๆ แล้วถูกจำกัดด้วยข้อเท็จจริงที่ว่าสื่อกระตุ้นได้ไม่มากนัก ดังนั้นแหล่งกำเนิดแสงเลเซอร์จึงสามารถผลิตได้เสถียรและเหมาะสม สำหรับการผลิตภาคอุตสาหกรรมค่อนข้างจำกัด เลเซอร์ที่ใช้กันอย่างแพร่หลายมากที่สุดน่าจะเป็นเลเซอร์ Nd:YAG, เลเซอร์คาร์บอนไดออกไซด์และเลเซอร์เอ็กซ์ไซเมอร์ เนื่องจากเลเซอร์ Nd: YAG สามารถส่งผ่านใยแก้วนำแสงและเหมาะสำหรับงานอุตสาหกรรม จึงใช้ในการทำความสะอาดด้วยเลเซอร์ด้วย
การพูดเชิงวิชาการ: Laser ablation (ชื่อทางวิทยาศาสตร์ของการทำความสะอาดด้วยเลเซอร์) หรือ photoablation เป็นกระบวนการในการกำจัดวัสดุออกจากพื้นผิวที่เป็นของแข็ง (หรือบางครั้งเป็นของเหลว) โดยการฉายรังสีด้วยลำแสงเลเซอร์ ที่ฟลักซ์เลเซอร์ต่ำ วัสดุจะถูกทำให้ร้อนด้วยพลังงานเลเซอร์ที่ดูดซับและระเหยหรือระเหยไป ภายใต้ฟลักซ์เลเซอร์สูง วัสดุมักจะถูกแปลงเป็นพลาสมา โดยทั่วไปแล้ว การระเหยด้วยเลเซอร์หมายถึงการกำจัดวัสดุด้วยเลเซอร์พัลซิ่ง แต่ถ้าความเข้มของเลเซอร์สูงเพียงพอ ก็สามารถใช้ลำแสงเลเซอร์แบบคลื่นต่อเนื่องเพื่อระเหยวัสดุได้ เลเซอร์ Excimer ของแสงอัลตราไวโอเลตลึกส่วนใหญ่จะใช้สำหรับ photoablation ความยาวคลื่นของเลเซอร์ที่ใช้สำหรับ photoablation อยู่ที่ประมาณ 200 นาโนเมตร ความลึกของการดูดกลืนพลังงานเลเซอร์และปริมาณของวัสดุที่ถูกกำจัดโดยพัลส์เลเซอร์ตัวเดียวขึ้นอยู่กับคุณสมบัติทางแสงของวัสดุและความยาวคลื่นเลเซอร์และความยาวพัลส์ มวลรวมของพัลส์เลเซอร์แต่ละอันที่ระเหยออกจากเป้าหมายมักเรียกว่าอัตราการระเหย ลักษณะการแผ่รังสีของเลเซอร์ เช่น ความเร็วในการสแกนลำแสงเลเซอร์และการครอบคลุมแนวการสแกนจะส่งผลต่อกระบวนการระเหยอย่างมาก
